金剛石MPCVD系統(tǒng)

產(chǎn)品概述
產(chǎn)品詳細(xì)
產(chǎn)品相關(guān)

產(chǎn)品概述

微波等離子金剛石MPCVD系統(tǒng)具有高度可重復(fù)的真空完整性設(shè)計(jì)，能夠在接近大氣壓范圍內(nèi)運(yùn)行，用于高沉積速率的單晶化學(xué)氣相沉積工藝。它還可以合成高純度的高均勻性和大面積的單晶和多晶。

產(chǎn)品詳細(xì)

微波和腔體系統(tǒng)
1.下入式微波饋入系統(tǒng)
2. 鋁制碟形腔設(shè)計(jì)
3.*大功率10kW
4.鉬生長(zhǎng)臺(tái)直徑80mm,10x10晶種可以放24-28片
測(cè)溫以及控制系統(tǒng)
1. 雙色紅外測(cè)溫儀
2. 電機(jī)控制可升降生長(zhǎng)臺(tái)
3. PLC控制系統(tǒng)和電腦終端控制軟件

4. 全自動(dòng)操作軟件

真空以及氣路系統(tǒng)
1. 4路流量計(jì)
1.1氫氣：1000sccm
1.2 甲烷200sccm
1.3輔助氣體流量計(jì)1：20sccm
1.4輔助氣體流量計(jì)2：10sccm
2. 2路流量計(jì)預(yù)留
3. 工作壓力：15-300Torr

4.真空漏率：<1x10-10Pam3/sec

連續(xù)工作時(shí)間：可達(dá)700小時(shí)

相關(guān)產(chǎn)品

金剛石MPCVD系統(tǒng) ZW-10

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