4. 全自動(dòng)操作軟件
真空以及氣路系統(tǒng) 1. 4路流量計(jì) 1.1氫氣:1000sccm 1.2 甲烷200sccm 1.3輔助氣體流量計(jì)1:20sccm 1.4輔助氣體流量計(jì)2:10sccm 2. 2路流量計(jì)預(yù)留 3. 工作壓力:15-300Torr
4.真空漏率:<1x10-10Pam3/sec
連續(xù)工作時(shí)間:可達(dá)700小時(shí)